Ọna fun igbaradi polysilicon.

1. ikojọpọ

Fi erupẹ quartz ti a bo sori tabili paṣipaarọ ooru, ṣafikun ohun elo aise silikoni, lẹhinna fi ẹrọ alapapo, ohun elo idabobo ati ideri ileru, yọ kuro ni ileru lati dinku titẹ ninu ileru si 0.05-0.1mbar ati ṣetọju igbale. Ṣe afihan argon bi gaasi aabo lati tọju titẹ ninu ileru ni ipilẹ ni ayika 400-600mbar.

2. Alapapo

Lo ẹrọ ti ngbona lẹẹdi lati gbona ara ileru, kọkọ yọ ọrinrin ti o wa lori dada ti awọn ẹya graphite, Layer idabobo, awọn ohun elo aise ohun alumọni, bbl, ati lẹhinna gbona laiyara lati jẹ ki iwọn otutu ti quartz crucible de ọdọ 1200-1300℃. Ilana yii gba to wakati 4-5.

3. yo

Ṣe afihan argon bi gaasi aabo lati tọju titẹ ninu ileru ni ipilẹ ni ayika 400-600mbar. Diẹdiẹ mu agbara alapapo pọ si lati mu iwọn otutu badọgba ninu crucible si bii 1500℃, ati ohun elo aise silikoni bẹrẹ lati yo. Pa nipa 1500℃nigba ti yo ilana titi ti yo wa ni ti pari. Ilana yii gba to wakati 20-22.

4. Crystal idagbasoke

Lẹhin ti ohun elo aise ti silikoni ti yo, agbara alapapo dinku lati jẹ ki iwọn otutu ti crucible ju silẹ si bii 1420-1440℃, eyi ti o jẹ aaye yo ti silikoni. Nigbana ni kuotisi crucible maa n lọ si isalẹ, tabi ẹrọ idabobo naa yoo dide diẹdiẹ, ki quartz crucible laiyara lọ kuro ni agbegbe alapapo ati ṣe paṣipaarọ ooru pẹlu awọn agbegbe; ni akoko kanna, omi ti kọja nipasẹ awo itutu agbaiye lati dinku iwọn otutu ti yo lati isalẹ, ati pe ohun alumọni kirisita ti kọkọ ṣẹda ni isalẹ. Lakoko ilana idagbasoke, wiwo omi-lile nigbagbogbo maa wa ni afiwe si ọkọ ofurufu petele titi idagbasoke gara gara. Ilana yii gba to wakati 20-22.

5. Annealing

Lẹhin ti idagbasoke gara ti pari, nitori iwọn otutu nla laarin isalẹ ati oke ti gara, aapọn gbona le wa ninu ingot, eyiti o rọrun lati fọ lẹẹkansi lakoko alapapo ti wafer silikoni ati igbaradi batiri naa. . Nitoribẹẹ, lẹhin idagbasoke ti kristali ti pari, ingot silikoni wa ni ipamọ nitosi aaye yo fun awọn wakati 2-4 lati ṣe iwọn otutu ti aṣọ ingot silikoni ati dinku aapọn gbona.

6. Itutu agbaiye

Lẹhin ti ingot ohun alumọni ti wa ni ito ninu ileru, pa agbara alapapo, gbe ẹrọ idabobo ooru soke tabi dinku ingot silikoni patapata, ki o ṣafihan ṣiṣan nla ti gaasi argon sinu ileru lati dinku iwọn otutu ti ohun alumọni ingot si isunmọ. iwọn otutu yara; ni akoko kanna, gaasi titẹ ninu ileru maa dide titi o fi de titẹ oju aye. Ilana yi gba to nipa 10 wakati.